可以有多种制法。采用的原料可以是二甲苯、三甲苯、四甲苯或蒽。氧化的方法有液相法和气相法等。
1.均四甲苯气相氧化 此法特点是工艺简单，可省去脱水成酐工序，除空气外不用其他氧化剂（如硝酸、高锰酸、铬酸等），也不需液相所必需的催化剂分离工序，并可连续生产，易于实现自动化操作，是国外发展的主要方法。所用的原料也可以从1,2,4-三甲苯出发，在催化剂存在下，与丙烯烷基化生成1,2,4-三甲基-5-丙基苯，再以气相空气催化氧化得到均苯四甲酸二酐。
2.由二甲苯（对二甲苯或间二甲苯）经氯甲基化、氧化、环化而得。工业品均苯四甲酸二酐为白色至淡黄绿色结晶，一级品熔点284-287℃，二级品熔点283.5-287℃。由1,2,4-三甲苯用氧化法生产时，每吨产品消耗1,2,4-三甲苯3000kg、丙烯1200kg。