【标题】在含氮气中六甲基环三硅氧烷的等离子体聚合
【作者】余自力 叶牧
【关键词】等离子体 聚合 甲基硅氧烷
【刊名】辐射研究与辐射工艺学报 1989-7-3
【ISSN】1000-3436

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【论文】六甲基环三硅氧烷等离子体聚合膜的应用.pdf